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硅片拋光機加工小心化學(xué)腐蝕
發(fā)布時間：2014-8-4 15:58:46
來源：m.wzdian.com
作者：亞峰機械
硅片拋光機加工前先將硅單晶棒研磨成具有精確直徑的單晶棒,再沿單晶棒的晶軸方向研磨出主、次參考面,用氫氟酸、硝酸和冰醋酸的混合液腐蝕研磨面，稱為減徑腐蝕。
硅片拋光機加工過多，硅表面的化學(xué)腐蝕一般采用濕法腐蝕，硅表面腐蝕形成隨機分布的微小原電池，腐蝕電流較大，一般超過100A/cm2，但是出于對腐蝕液高純度和減少可能金屬離子污染的要求，目前主要使用氫氟酸（HF）,硝酸(HNO3)混合的酸性腐蝕液，以及氫氧化鉀(KOH)或氫氧化鈉（NaOH）等堿性腐蝕液。現(xiàn)在主要用的是HNO3-HF腐蝕液和NaOH腐蝕液。
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